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四川江化微电子材料有限公司年产6万吨

建设单位:四川江化微电子材料有限公司

验收监测单位:四川省天衡诚信环境检测技术有限公司

联系人:15351321781(王)

公示时间:2021.12.01-2021.12.28

一、工程建设基本情况

(一)建设地点、内容和规模

建设地点:四川省眉山市彭山区谢家镇毛河村四组(成眉石化园区)。

建设内容及规模:主要产品生产规模分别1000t/a硫酸、1000t/a双氧水、3000t/a氢氟酸、2000t/a硝酸、1000t/a盐酸、1000t/a乙酸、500t/a丙酮、500t/a乙醇、6000t/a异丙醇、12000t/a铜蚀刻液、6000t/a铝蚀刻液、3000t/aITO蚀刻液(A)3000t/aITO蚀刻液(B)4000t/a显影液(A)3000t/a氟化铵腐蚀液、3000t/aCF剥离液、10000t/a正胶剥离液

(二)建设过程及环保审批情况

20186,四川省川工环院环保科技有限责任公司编制完成了《四川江化微电子材料有限公司年产6万吨超高纯湿电子化学品项目环境影响报表》;20186月,眉山市彭山区环境保护局对该报告表进行了审查批复(文件号为:眉彭环函〔2018 287 号)。本项目于2018开工建设,202110月竣工并进行调试。目前本项目主体工程及相关环保设施均已正常运行,生产能力已达到设计生产规模的75%以上,满足环保“三同时”验收监测条件。

(三)投资情况

本项目总投资为19791.31万元,其中环保投资为681万元,环保投资占总投资的比例为3.44%

(四)验收范围

本项目主体工程、公辅工程、贮运工程、环保工程。

二、工程变动情况

本项目实际建设内容与环评阶段设计内容相比,变动情况见下表。

 

序号

环评阶段设计内容

实际建设内容

是否属于

重大变动

1

生产显影液(B),原料为氢氧化钾、氢氧化钠

变动为氟化氨蚀液,原料更改为氟化氨、氢氟酸

2

清洗包装桶废气未提治理要求

清洗包装桶工序新增1套“一级碱喷淋塔+15m排气筒”

3

危废暂存间废气未提治理要求

新增2套“二级活性炭吸附+15m排气筒”

4

污水处理站废气未提治理要求

新增1套“二级碱液喷淋+除雾+UV+二级活性炭吸附+25m排气筒”

5

储罐呼吸区、接卸区有机废气处理设施为“收集管+活性炭吸附+15m排气筒”

变动为“二级水喷淋塔+除雾塔+二级活性碳吸附+25m排气筒”

6

储罐呼吸区、接卸区酸性废气处理设施为“收集管+二级碱液喷淋塔+15m排气筒”

变动为“收集管+二级碱喷淋塔+除雾塔+二级活性碳吸附+25m排气筒”

7

有机废水处理工艺为“好氧生物处理+沉淀”

变动为“芬顿+好氧生物处理+沉淀”处理工艺

三、环境保护设施建设情况

(一)废水

本项目运营期废水主要为生产废水和生活污水。生产废水包括碱液喷淋塔废水、化验室废水(无机产品)、槽车清洗废水(无机产品)、回收包装桶清洗废水(无机产品)、反冲洗酸碱废水、化验室废水(有机产品)槽车清洗废水(有机产品)、回收包装桶清洗废水(有机产品)、有机喷淋塔废水、地面冲洗废水。

1、碱液喷淋塔废水、化验室废水(无机产品)、槽车清洗废水(无机产品)、回收包装桶清洗废水(无机产品)、反冲洗酸碱废水先经“除氟+絮凝+沉淀+中和”处理后,再经园区污水管网排入园区污水处理厂,最终排入毛河。

2、化验室废水(有机产品)槽车清洗废水(有机产品)、回收包装桶清洗废水(有机产品)、有机喷淋塔废水、地面冲洗废水先经“芬顿+好氧生物处理+沉淀”处理后,再经园区污水管网排入园区污水处理厂处理,最终排入毛河。

3、经隔油池预处理后的食堂废水与其他生活污水一起经预处理池处理后,通过园区污水管网排入园区污水处理厂处理,尾水排入毛河。

(二)废气

本项目运营期废气主要为产品混配和灌装生产废气、储罐呼吸废气、接卸区废气、QC控制室检验废气、包装桶清洗废气、危废暂存间废气、废水处理车间废气、食堂油烟。

1、有机纯化产品灌装工序、有机混配产品混配工序产生的有机废气:经集气罩收集后,采用三级活性炭吸附装置处理,由15m高排气筒排放。

2、无机纯化产品灌装工序、无机混配产品调配工序产生的酸性废气:经集气罩收集后,采用二级碱液喷淋塔处理,由15m高排气筒排放。

3、储罐产生的储罐呼吸有机废气、接卸区产生的有机废气:经管线收集后,采取二级水喷淋塔+除雾塔+二级活性碳吸附装置处理,由25m高排气筒排放。

4、储罐产生的储罐呼吸酸性废气、接卸区产生的酸性废气:经管线收集后,采取二级碱喷淋塔+除雾塔+二级活性碳吸附处理,由25m高排气筒排放。

5QC控制室检验废气:有机废气经通风柜收集后,采用二级活性炭吸附塔处理,由15m高排气筒排放;酸性废气经通风柜收集后,采取二级碱液喷淋塔处理,由15m高排气筒排放。

6、包装桶清洗废气:废气经通风柜收集后,采取一级碱液喷淋塔处理,由15m高排气筒排放。

7、危废暂存间废气:2个危废暂存间废气经收集后,分别采取二级活性炭吸附处理,由15m高排气筒排放。

8、废水处理车间废气:废气经加盖密闭收集后,采取二级碱液喷淋+除雾+UV+二级活性炭吸附处理,由25m高排气筒排放。

9、食堂油烟:油烟经集气罩收集后,采取油烟净化器处理,引至屋顶排放。

(三)噪声

本项目运营期产生的噪声主要来自于各类泵、各类风机、喷淋塔、冷却塔、空压机、冷水机组等大型设备等。项目采用选用低噪声设备、合理布局、合理安排生产时间和基础减振、厂房隔声等措施降低噪声排放。

(四)固废

本项目运营期产生的固体废物包括一般固废和危险废物。

一般固废包括超纯水制备产生的废膜和废滤芯、生活垃圾;超纯水制备产生的废膜和废滤芯分类收集后,定期交厂家回收,生活垃圾分类收集,定期由环卫部门清运处置。

危险废物主要为产品生产产生的废滤芯、化验室废液、废水处理污泥、废活性炭、废离子交换树脂、废包装袋和废试剂瓶,收集后暂存于危废暂存间内,交有资质的单位处置。

四、环境保护设施调试效果

根据《四川江化微电子材料有限公司年产6万吨超高纯湿电子化学品项目竣工环保验收监测报告表》,本项目污染物排放情况如下:

(一)废水

生产废水因产生量较小(日产生量小于1吨),无法满足污水处理站运行要求,目前生产废水暂存于高浓废水池(55m3)和含氟废水池(40m3),未处理。本次验收生产废水未监测。

验收监测期间,生活污水总排口中所测指标悬浮物、化学需氧量、五日生化需氧量、阴离子表面活性剂、动植物油类、氟化物的排放浓度及pH值均满足《污水综合排放标准》(GB 8978-1996)表4中规定的三级标准限值要求,氨氮、总磷、总氮的排放浓度均低于《污水排入城镇下水道水质标准》(GB/T31962-2015)表1中规定的B级标准限值。

(二)废气

本次验收监测内容不包含污水处理站废气,因污水处理站未运行,故本次验收污水处理站废气未监测。

验收监测期间,有组织◎5#~8#排气筒出口中所测指标VOCs(以非甲烷总烃计)的排放浓度和排放速率均满足《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》(DB 51/2377-2017)表3中规定的“电子产品制造”标准限值要求,◎6#~7#排气筒出口中所测指标丙酮、异丙醇的排放浓度和排放速率均满足《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》(DB 51/2377-2017)表4中规定的标准限值要求,◎10#~12#排气筒出口中所测指标硫酸雾、氯化氢、氮氧化物的排放浓度和排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)表2中规定的“其他”二级标准限值要求;◎1#清洗酸碱或有机物包装桶废气排气筒中所测指标VOCs(以非甲烷总烃计)的排放浓度及排放速率均满足《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》(DB 51/2377-2017)表3中规定的“电子产品制造”标准限值要求,硫酸雾、氯化氢、氮氧化物的排放浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中规定的“其他”二级排放限值要求,◎1#QC控制室无机检验废气排气筒出口中所测指标硫酸雾、氯化氢、氮氧化物的排放浓度及排放速率均满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297- 1996)表2中规定的“其他”二级排放限值要求;食堂油烟的排放浓度满足《饮食业油烟排放标准(试行)》(GB18483-2001)表2标准限值要求。

无组织废气中所测指标VOCs(以非甲烷总烃计)的周界浓度最高值均满足《四川省固定污染源大气挥发性有机物排放标准》(DB 51/2377-2017)表5中规定的标准限值要求,硫酸雾、氟化物、氯化氢、氮氧化物的周界浓度最高值均满足《大气污染物综合排放标准》(GB 16297-1996)表2中规定的无组织废气排放标准限值要求。

(三)噪声

验收监测期间,各测点厂界环境噪声昼间、夜间等效声级均满足《工业企业厂界环境噪声排放标准》(GB12348-2008)表1中规定的3类标准限值要求。

(四)固废

本项目产生的固体废物均得到了有效收集和规范处置,去向明确。

(五)污染物排放总量

本项目环评废气总量控制指标为:氮氧化物:0.308kg/aVOCs1.353kg/a;污水处理厂废水排口:化学需氧量:0.24t/a;氨氮:0.02t/a。本次验收监测污染物排放量为:氮氧化物:0.205kg/aVOCs1.341kg/a,均低于环评下达总量控制指标要求,由于本次验收监测未测污水处理站废水,故未核算废水总量控制指标。

五、环境管理检查

四川江化微电子材料有限公司健全了环境管理机构,配置了环保管理人员,制定了环境管理制度,建立了环保档案。